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真空镀膜、冷冻机、镀膜冷冻机、水汽捕集泵、深冷泵
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本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于领先地位，达到甚至超过国际先进水平。

适用于：物理、化学气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备；光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。

应用原理:

在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。

深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

主要的性能特点

1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%；

2、提高镀膜质量，防返油、不脱落、颜色纯正；

3、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，最低可到-150℃；

4、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;

5、触摸屏+PLC=完善的自动化控制；

6、一台设备可设计两路负载输出；

7、进口压缩机，环保混合型制冷剂;

8、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示；

9、除霜温度自由设定；

10、具有水温温度、排气温度显示；

11、缺水、水温过高报警；

12、压缩机排气过高、压力过高保护；

13、可本地、远程控制自由转换；

14、R232计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。

技术参数